ガス供給装置

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 半導体用特殊材料ガス等、各種ガスを供給する装置です。
 ボンベボックスを始めとし各種ガスの供給配管、自動供給、気密性、
 クリーン度、安全性、メンテ
ナンス性等を考慮した装置となっております。

1.取扱い時の安全性が高い。

2.十分なクリーン度を保ちます。

3.供給配管の高い気密性を保ちます。

4.ガス漏洩検知器等お客様に合わせた
  
  オプションを準備しております。

ガス供給装置

タイプ 標準サイズ 外形寸法(W×D×H) オプションの設定
ボンベ収納タイプ 1400×400×1700  あり 
ボンベなしタイプ 1000×350×1600 あり
※上記仕様は予告なく変更する場合があります。